为此，英特尔昨天在俄勒冈州为该公司的主要开发工厂D1X的Mod3扩展举行了盛大的开幕式。此次扩建于2019年以来首次公开，是自2010年D1X初始建设以来英特尔主要开发工厂的第三次此类模块第二次扩建。为了保持英特尔工厂启动和扩建的传统，该公司把它当作一件大事，包括让俄勒冈州的州长出来炫耀他们30亿美元的投资。
但除了大张旗鼓之外，该工厂的最新模块对英特尔来说是一个真正重要的模块：它不仅为工厂增加270,000平方英尺的洁净室空间——将D1X扩大了约20%——而且它是唯一的工厂模块。大到足以支持英特尔的18A工艺开始使用的高数值孔径(HighNA)EUV光刻机。ASML即将推出的TWINSCANEXE:5200EUV光刻机旨在成为他们迄今为止最强大的光刻机。当然，它也比英特尔用于其第一代EUV工艺（英特尔4/英特尔3）的NXE3000系列EUV光刻机大得多。它是如此之大，以至于D1X的天花板太低而无法容纳机器，更不用说支撑其重量的地板了。
除了向媒体介绍D1X-Mod3的开幕式外，英特尔还利用他们最新的新闻发布会让大家快速了解英特尔开发路线图的最新更新。严格来说，这里没有什么新鲜事——所有这些都是在2月份的英特尔2022年投资者会议上首次宣布的。然而，这是英特尔第一次让技术媒体而不是投资者来了解其开发工作的现状。
这里的大新闻是英特尔正式提前了在英特尔18A节点上制造的开始日期。英特尔的第二代“埃”节点原本预计在2025年；但现在该公司将其提高了半年，到2024年下半年。
由于该公司已在今年晚些时候为其首个EUV工艺Intel4做准备，从2023年下半年开始，英特尔的路线图开始变得非常紧凑。当年下半年将看到英特尔3投入生产，这是英特尔的增强的EUV工艺。与此同时，英特尔20A可能会在6个月后投入生产。20A是英特尔的第一个“埃”节点，其中包含了他们的全栅极式“RibbonFET”FinFets以及PowerVias。
但是，如果一切按计划进行，由于18A工艺的提前，20A似乎将是一个相对漫长的节点。英特尔的第二代埃节点，将采用更新的带状设计和对英特尔GAA制造技术的其他改进。由于18A仍然是英特尔制造路线图中最短的节点，因此该公司对18A将带来的所有新事物保持相对沉默，但它的存在，仍然是英特尔计划重新确立芯片制造行业领导地位的关键。
据英特尔称，18A开发进展顺利，公司的研发业务现在处于或领先于所有开发里程碑，这使公司有信心在2024年底而不是2025年开始制造基于18A工艺节点的产品。
然而，引入18A的一个后果是，这意味着英特尔现在肯定会在没有所有高NA机器的情况下开始生产18A工艺产品。18A仍然是高NA机器首次亮相的工艺节点，但由于TWINSCANEXE5200预计要到2025年才能到位，这意味着英特尔现在必须使用其现有的3000系列机器来启动18A生产。
反过来，这对18A生产意味着什么还有待观察。由于英特尔可以将其普通（非HA）机器用于18A，因此高NA机器的最大优势可能是吞吐量，由于高NA具有更高的精度，因此英特尔能够处理几乎没有（或没有）多重图案的晶圆。看起来，最有可能的结果是英特尔将能够在2024年生产18A，甚至可能量产。但在第一台高NA机器可用之前，18A工艺将无法进入英特尔规模的大批量生产，直到2025年。
而且，与往常一样，应该注意的是，英特尔的制造路线图日期是新工艺节点投入生产的最早日期，而不是基于该技术的硬件上架的日期。因此，即使18A按照现在的计划在2024年下半年推出，也很可能在2025年的几个月后，第一批产品才能交付客户手中，尤其是如果英特尔在该窗口的后期推出。鉴于这些发布窗口的巨大规模和英特尔自己的历史，所有这些都是一个可能的赌注，因为英特尔很少在发布窗口的早期发布新产品/技术。
最后，英特尔的开发简报还包括确认英特尔正在采用纯粹的内部“降低测试风险”节点作为其PowerVia技术开发过程的一部分。测试节点的目的是通过允许英特尔独立于RibbonFET开发和测试PowerVias来消除20A的全部风险。在这种情况下，测试节点在前端使用英特尔成熟的FinFET技术，同时在后端使用PowerVia的测试版本。英特尔暂未宣布RibbonFET这个节点，但即使不存在这样的节点，第一代PowerVia仍然是流程的一部分。
英特尔的10nm问题在很大程度上是由于一次将太多的技术变化捆绑在一起，再加上特征尺寸的非常激进的缩减造成的。将这些东西分成更小、更复杂的制造节点更新是英特尔未来降低这种风险的一种方式。现在有了一个用于PowerVia开发的内部测试节点，他们的目标是进一步降低风险，以便能够在2024年上半年同时推出RibbonFET和PowerVia，作为英特尔20A的一部分。（文章改编自《IntelOpensD1X-Mod3FabExpansion;MovesUpIntel18AManufacturingtoH2’2024》，作者，RyanSmith，时间：April11,20221:00PMEST）
